Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10е-9 до 10е-6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ 8.592.