ГСИ. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки.
Область применения:
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения – радиометры УФ-излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.
Технологические УФ-излучатели применяют для фотолитографии при создании высоких уровней УФ-освещенности в микро- и наноэлектронике. Средства измерений характеристик УФ-излучения в фотолитографии обеспечивают в диапазоне длин волн от 0,01 до 0,25 мкм измерения энергетической освещенности в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 0,1 Вт/м2, верхняя – не менее 100 Вт/м2.
Методы оценки погрешностей радиометров УФ-излучения, представленные в настоящем стандарте, соответствуют рекомендациям № 53 Международной комиссии по освещению.