ГОСТ Р 8.643-2008 НТД

ГОСТ Р 8.643-2008

ГСИ. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн 10-30 нм. Методика поверки.

Область применения:

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения – ЭУФ-рефлектометры, используемые в диапазоне измеряемых значений коэффициентов зеркального и диффузного отражений от 0,01 до 0,7 в диапазоне длин волн 10-30 нм, и устанавливает методику их поверки. Измерения коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне ЭУФ проводят для определения эффективности зеркал и дифракционных решеток при контроле технологических процессов формирования многослойных наноструктур. В качестве источников ЭУФ-излучения используют источники синхронного излучения, переходного излучения и излучатели типа плазменный фокус. В качестве приемников ЭУФ-излучения используют кремниевые фотодиоды с многослойными нанопокрытиями, вторичные электронные умножители и канальные электронные умножители.
  • Дата вступления в силу 02.06.2008
    Дата прекращения действия Не указана
  • Загрузить
  • СтатусДействует