ГСИ. Преобразователи индуктивные прецизионные для измерения линейных размеров (параметров). Методика поверки.
Область применения:
Настоящий стандарт распространяется на индуктивные прецизионные преобразователи, предназначенные для измерений линейных размеров (параметров) до 100 нм, входящие в общую индуктивную измерительную систему (ИИС), и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.