ГСИ. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм.
Методика измерений.
Область применения:
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм – рефлектометры экстремального вакуумного ультрафиолетового (ЭУФ) излучения, предназначенные для измерения коэффициентов зеркального и диффузного отражений, и устанавливает методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражений.
ЭУФ рефлектометры обеспечивают в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне значений от 0,01 до 0,99.
В качестве источников непрерывного ЭУФ излучения используют электронные накопительные кольца. В качестве источников импульсного ЭУФ излучения используют открытые излучатели на основе капиллярного разряда с испаряющейся стенкой или плазменного фокуса, а также электронные синхротроны. В качестве приемников ЭУФ излучения используют солнечно-слепые фотодиоды на основе многослойных наноструктур.