гэт186-2017
| Статус: | Утвержден |
| Вид измерений: | --- |
| Наименование: | Государственный первичный эталон (ГПЭ) единиц эллипсометрических углов |
| Поверочная схема: | (2221) Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений эллипсометрических углов |
| Номинальные значения, диапазон: | Диапазон значений эллипсометрического угла Дельта от 0° до 360°. Диапазон значений эллипсометрического угла Пси от 0° до 90°. Пространственный диапазон области воспроизведения пространственного распределения эллипсометрических углов Дельта и Пси (диаметр поля зрения) 30 мм. Диапазон измерений топограммы высот профиля поверхности от 0,006 до 20,000 мкм. |
| Институт-хранитель: | ВНИИОФИ |
| Ученый-хранитель: | Минаев Владимир Леонидович |
| Телефон: | (495) 437-29-01 |
| Email: | minaev@vniiofi.ru |